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產(chǎn)品分類(lèi)
Product CategoryFR-Ultra是一種緊湊型設備,專(zhuān)門(mén)用于快速、準確和無(wú)損測量半導體材料的厚/超厚層及透明層。
Filmetrics F3-sX半導體薄膜測量?jì)x可以測試眾多半導體及電解層的厚度,可測大厚度達3毫米。此類(lèi)厚膜,相較于較薄膜層表面較粗糙且不均
Filmetrics F32薄膜厚度測量?jì)x 使用F32可以簡(jiǎn)單快速地在線(xiàn)測量膜厚。從對膜的頂部和底部反射光譜進(jìn)行分析可得到實(shí)時(shí)厚度信息。
Filmetrics F60薄膜厚度測量?jì)x 電動(dòng)R-Theta平臺自動(dòng)移動(dòng)到選定的測量點(diǎn),并在幾秒鐘內提供厚度測量。 選擇數十種預定義的極坐標,矩形或線(xiàn)性地圖模式中的一種,或創(chuàng )建自己的地圖模式,不限制測量點(diǎn)的數量。 典型的49點(diǎn)圖形大約需要45秒。
Filmetrics F40薄膜厚度測量?jì)x 產(chǎn)品能以一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺自動(dòng)移動(dòng)到選定的測量點(diǎn)以每秒測繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米
Filmetrics F54薄膜厚度測量?jì)x能以一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺自動(dòng)移動(dòng)到選定的測量點(diǎn)以每秒測繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米
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