當前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > 晶圓關(guān)鍵尺寸測量 > Orzew FC20/FC20X全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測及分選機
簡(jiǎn)要描述:Dymek Orzew FC20使用無(wú)接觸式單側紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺,Dymek Orzew FC20X使用無(wú)接觸式點(diǎn)光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點(diǎn)支撐水平載臺,兩套系統均配有高速、高精度運動(dòng)模組和晶圓機械手,滿(mǎn)足亞微米級的形 貌測量需求,可選裝配電阻率測試模塊,滿(mǎn)足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程。
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多種測量能力
•形貌測量
•晶圓分選
•電阻率測量
•關(guān)鍵尺寸檢測
自由選擇適配的測量方式
•Dymek Orzew FC20使用無(wú)接觸式單側紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺
•Dymek Orzew FC20X使用無(wú)接觸式點(diǎn)光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點(diǎn)支撐水平載臺
•兩套系統均配有高速、高精度運動(dòng)模組和晶圓機械手,滿(mǎn)足亞微米級的形貌測量需求
•可選裝配電阻率測試模塊,滿(mǎn)足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程
厚度分布熱力圖和三維面型
•具備4,6,8寸晶圓檢測能力(12寸可選)
•全自動(dòng)輸出測量結果
•自定義電阻率檢測輸出方式
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