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簡(jiǎn)要描述:Thetametrisis膜厚測量?jì)xFR-pRo是一個(gè)模塊化和可擴展平臺的光學(xué)測量設備,用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。
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Product Category詳細介紹
Thetametrisis膜厚測量?jì)xFR-pRo概述:
FR-pRo膜厚儀: 按需搭建的薄膜特性表征工具。
FR-pRo膜厚儀是一個(gè)模塊化和可擴展平臺的光學(xué)測量設備,用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。
FR-pRo膜厚儀是為客戶(hù)量身定制的,并廣泛應用于各種不同的應用。
比如:
吸收率/透射率/反射率測量,薄膜特性在溫度和環(huán)境控制下甚至在液體環(huán)境下的表征等等…
Thetametrisis膜厚測量?jì)xFR-pRo應用:
1、大學(xué)&研究實(shí)驗室
2、半導體行業(yè)
3、高分子聚合物&阻抗表征
4、電介質(zhì)特性表征
5、生物醫學(xué)
6、硬涂層,陽(yáng)極氧化,金屬零件加工
7、光學(xué)鍍膜
8、非金屬薄膜等等…
FR-pRo膜厚儀可由用戶(hù)按需選擇裝配模塊,核 心部件包括光源,光譜儀(適用于 200nm-2500nm 內的任何光譜系統)和控制單元,電子通訊模塊。
此外,還有各種各種配件,比如:
1.用于測量吸收率/透射率和化學(xué)濃度的薄膜/試管架;
2.用于表征涂層特性的薄膜厚度工具;
3.用于控制溫度或液體環(huán)境下測量的加熱裝置或液體試劑盒;
4.漫反射和全反射積分球。
通過(guò)不同模塊組合,蕞終的配置可以滿(mǎn)足任何終端用戶(hù)的需求。
Specificatins 規格:
Model | UV/Vis | UV/NIR -EXT | UV/NIR-HR | D UV/NIR | VIS/NIR | D Vis/NIR | NIR |
光譜范圍 (nm) | 200 – 850 | 200 –1020 | 200-1100 | 200 – 1700 | 370 –1020 | 370 – 1700 | 900 – 1700 |
像素 | 3648 | 3648 | 3648 | 3648 & 512 | 3648 | 3648 & 512 | 512 |
厚度范圍 | 1nm – 80um | 3nm – 80um | 1nm – 120um | 1nm – 250um | 12nm – 100um | 12nm – 250um | 50nm – 250um |
測量n*k 蕞小范圍 | 50nm | 50nm | 50nm | 50nm | 100nm | 100nm | 500nm |
準確度*,** | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 2nm or 0.2% | 3nm or 0.4% |
精度*,** | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.1nm |
穩定性*,** | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.15nm |
光源 | 氘燈 & 鎢鹵素燈(內置) | 鎢鹵素燈(內置) | |||||
光斑 (直徑) |
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| 350um (更小光斑可根據要求選配) |
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材料數據庫 |
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| > 600 種不同材料 |
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Accessries 配件:
電腦 | 19 英寸屏幕的筆記本電腦/觸摸屏電腦 |
聚焦模塊 | 光學(xué)聚焦模塊安裝在反射探頭上,光斑尺寸<100um |
薄膜/比色皿容器 | 在標準器皿中對薄膜或液體的透射率測量 |
接觸式探頭 | 用于涂層厚度測量和光學(xué)測量的配件,適用于彎曲表面和曲面樣品 |
顯微鏡 | 用于高橫向分辨率的反射率及厚度顯微測量 |
Scanner (motorized) | 帶有圓晶卡盤(pán)的Polar(R-Θ)或 Cartesian(X-Y)自動(dòng)化樣品臺可選,Polar(R-Θ)樣品臺支持反射率測量,Cartesian(X-Y)樣品臺支持反射率和透射率測量 |
積分球 | 用于表征涂層和表面的鏡面反射和漫反射 |
手動(dòng) X-Y 樣品臺 | 測量面積為 100mmx100mm 或 200mmx200mm 的x - y 手動(dòng)平臺 |
加熱模塊 | 嵌入FR-tool 中,范圍由室溫~200oC,通過(guò)FR-Monitor 運行可編程溫控器(0.1 oC 精度). |
液體模塊 | 聚四氟乙烯容器,用于通過(guò)石英光學(xué)窗口測量在液體中的樣品。樣品夾具, 用于將樣品插入可處理 30mmx30mm 樣品的液體中 |
流通池 | 液體中吸光率、微量熒光測量 |
工作原理:
白光反射光譜(WLRS)是測量垂直于樣品表面的某一波段的入射光,在經(jīng)多層或單層薄膜反射后,經(jīng)界面干涉產(chǎn)生的反射光譜可確定單層或多層薄膜(透明,半透明或全反射襯底)的厚度及 N*K 光學(xué)常數。
* 規格如有更改,恕不另行通知; ** 厚度測量范圍即代 表光譜范圍,是基于在高反射襯底折射率為 1.5 的單層膜測量厚度。
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