當前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 全自動(dòng)測量機臺 >
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category相關(guān)文章
Related Articles系統可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng )新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù),是國內可以實(shí)現同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測的系統。
系統用于磨片、拋光等前道工藝流程中的晶圓尺寸及形貌檢測,包括TTV,Bow,Warp,TIR等參數,可覆蓋4寸-12寸任何材質(zhì)晶圓的關(guān)鍵尺寸檢測,精度達國際水平,產(chǎn)能和經(jīng)濟效益遠超國內外產(chǎn)品。
UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統是表面缺陷檢測的蕞完善的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品,系統包括四個(gè)模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數據:晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊;輪廓、量測和檢查模塊
微信掃一掃