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Revasum擁有多年研磨和拋光超硬材料(如SiC)的經(jīng)驗,6EZ SiC拋光機是市場(chǎng)上僅有的一款專(zhuān)門(mén)為拋光SiC基片而設計的SiC CMP工具,競爭對手的拋光機基本上是為拋光硅集成電路而設計的,這有一套非常不同的要求,6EZ與其競爭對手之間最重要的區別在于晶圓載具的設計
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