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產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category三維形貌儀通過(guò)集成一對單點(diǎn),非接觸式,納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速,納米編碼的X/Y/Z協(xié)調運動(dòng),QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前,后和基準表面3D點(diǎn)云地形,用于托盤(pán)中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。
晶圓幾何形貌及參數紅外干涉自動(dòng)檢測機使用高精度高速紅外干涉點(diǎn)傳感器實(shí)現晶圓的非接觸式測量,結合高精度運動(dòng)模組及晶圓機械手可實(shí)現晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實(shí)現的尺寸與結構測量?jì)热莅ǎ?包括 TTV, Bow, Warp, Thickness , TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。
白光干涉儀廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
該儀器具備轉盤(pán)式針孔共聚焦和白光干涉兩種光學(xué)測量技術(shù),用于各種材料/涂層/器件的高精度表面三維特征 測量,能夠測量從粗糙的到光滑的,堅硬的到柔軟的,黏性的表面以及各種場(chǎng)合下難于測量的表面,適用于金屬材 料、非金屬材料、復合材料、薄膜、涂層、器件等各種各樣材料的表面微觀(guān)結構特征的3D成像,提供各種粗糙度, 表面結構的臺階高度,角度、體積、長(cháng)度、深度等多種數據的測試分析、相似特征的統計分析,輪廓提取等
晶圓幾何形貌及參數自動(dòng)檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專(zhuān)門(mén)測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數的自動(dòng)晶圓形貌檢測及分選機。
專(zhuān)為測量旋轉對稱(chēng)樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計,如金剛石車(chē)削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡
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