多功能EVG7300 UV納米壓印光刻系統可以支持多種相關(guān)的UV工藝:SmartNIL，晶圓級光學(xué)(WLO)和堆疊-三種功能合并在一個(gè)靈活的工具中

納米壓印支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并可選擇背面對準。此外，該系統還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。

EVG6200 NT以其自動(dòng)化靈活性和可靠性而著(zhù)稱(chēng)，可在最小的占位面積上提供了優(yōu)于其他品牌的掩模對準技術(shù)，并具有最高的產(chǎn)能，先進(jìn)的對準功能和優(yōu)化的總擁有成本。操作員友好型軟件，最短的掩模和工具更換時(shí)間以及高效的全球服務(wù)和支持使它成為任何制造環(huán)境的理想解決方案。EVG6200 NT或安裝的EVG6200 NT Gen2掩模對準系統有半自動(dòng)或自動(dòng)配置，并配有集成的振動(dòng)隔離功能。

光刻機Track系統通過(guò)集成的生產(chǎn)系統和結合掩模對準和曝光以及集成的預處理和后處理的高度自動(dòng)化功能，完善了EVG光刻機產(chǎn)品系列。HERCULES光刻機Track系統基于模塊化平臺，將EVG已建立的光學(xué)掩模對準技術(shù)與集成的清潔，光刻膠涂層，烘烤和光刻膠顯影模塊相結合。將HERCULES平臺變成了“一站式服務(wù)”，在這里將經(jīng)過(guò)預處理的晶圓裝載到工具中，然后將結構化的經(jīng)過(guò)處理的晶圓退回。

長(cháng)達 150 毫米的自動(dòng)化全場(chǎng)紫外納米壓印解決方案，采用 EVG 專(zhuān)有的 SmartNIL 技術(shù)

我們的EVG770分步重復納米壓印光刻機是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺，可用于有效地進(jìn)行母版制作或對基板上的復雜結構進(jìn)行直接圖案化。這種方法允許從蕞大50 mm x 50 mm的小模具到蕞大300 mm基板尺寸的大面積均勻地復制模板。結合金剛石車(chē)削或直接寫(xiě)入方法，分步重復刻印通常用于有效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。